臺達伺服電機系統的常見故障包括超程、過載、竄動、爬行、機床出現振動、伺服電機不轉動，具體介紹如下：
1.超程
當進給運動超過由軟件設定的軟限位或由限位開關設定的硬限位時，就會發生超程報警，一般會在CRT上顯示報警內容，根據數控系統說明書，即可排除故障，解除報警。
2.過載
當進給運動的負載過大，頻繁正、反向運動以及傳動鏈潤滑狀態不良時，均會引起過載報警。一般會在CRT上顯示伺服電動機過載、過熱或過流等報警信息。同時，在強電柜中的進給驅動單元上、指示燈或數碼管會提示驅動單元過載、過電流等信息。
3.竄動
在進給時出現竄動現象：①測速信號不穩定，如測速裝置故障、測速反饋信號干擾等;②速度控制信號不穩定或受到干擾;③接線端子接觸不良，如螺釘松動等。當竄動發生在由正方向運動與反向運動的換向瞬間時，一般是由于進給傳動鏈的反向間隙或伺服系統增益過大所致。
4.爬行
發生在起動加速段或低速進給時，一般是由于進給傳動鏈的潤滑狀態不良、伺服系統增益低及外加負載過大等因素所致。尤其要注意的是：伺服電機和滾珠絲杠聯接用的聯軸器，由于聯接松動或聯軸器本身的缺陷，如裂紋等，造成滾珠絲杠轉動與伺服電機的轉動不同步，從而使進給運動忽快忽慢，產生爬行現象。
5.機床出現振動
機床以高速運行時，可能產生振動，這時就會出現過流報警。機床振動問題一般屬于速度問題，所以就應去查找速度環;而機床速度的整個調節過程是由速度調節器來完成的，即凡是與速度有關的問題，應該去查找速度調節器，因此振動問題應查找速度調節器。主要從給定信號、反饋信號及速度調節器本身這三方面去查找故障。
6.伺服電機不轉
數控系統至進給驅動單元除了速度控制信號外，還有使能控制信號，一般為DC+24V繼電器線圈電壓。伺服電機不轉，常用診斷方法有：
①檢查數控系統是否有速度控制信號輸出;
②檢查使能信號是否接通。通過CRT觀察I/O狀態，分析機床PLC梯形圖，以確定進給軸的起動條件，如潤滑、冷卻等是否滿足;
③對帶電磁制動的伺服電機，應檢查電磁制動是否釋放;
④進給驅動單元故障。
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